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真空式等離子表面清洗機
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中型真空等離子清洗機
產品簡介
清洗介質為氣體，主要有：氮氣（N2）,氬氣(Ar),氫氣（H2）,氟化氮（NF3）,四氟化碳（CF4）,壓縮空氣等···；使用成本低，環保無污染，清洗過程只需幾分鐘完成，具有高效的特點：
產品詳情
1、中型真空等離子清洗機優點
清洗介質為氣體，主要有：氮氣（N2）,氬氣(Ar),氫氣（H2）,氟化氮（NF3）,四氟化碳（CF4）,壓縮空氣等···；使用成本低，環保無污染，清洗過程只需幾分鐘完成，具有高效的特點。
2、產品技術參數
型號 | HZ-30L | HZ-60L | HZ-80L | |||
外形尺寸 | 800*600*1800 MM | 800*600*1800 MM | 650*520*500 | |||
腔體容量 | 30L | 5L | 10L | |||
腔體尺寸 | 300*300*350 MM | 350*450*400 MM | 400*450*450 MM | |||
腔體材質 | 316 不銹鋼 | |||||
等離子發生器 | 13.56MHZ匹配一體 0-500W可調 | 13.56MHZ匹配一體 0-500W可調 | 13.56MHZ匹配一體 0-600W可調 | |||
過程控制 | 全自動控制，手動PLC人機界面 | |||||
氣路控制 | 高精密浮子流量計（可控兩路氣體） | |||||
真空系統 | BSV30(10L/S) | BSV40(13L/S) | BSV60(20L/S) | |||
壓力控制 | PID閉環自動穩壓控制，壓力傳感，壓力檢測 | |||||
真空度 | 10-30Pa | |||||
清洗時間 | 1-6000秒可調 | |||||
腔體工作溫度 | 小于35℃ | |||||
供電電壓 | 380V AC | |||||
工作電流 | 整機不大于10A （不含真空泵） | |||||
電極層數 | 3層 | 5層 | 5層 | |||
說明：腔體尺寸可定制，參數可根據客戶要求制定
3、產品價格
3000元起